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卷對卷式PECVD技術參數(shù)：
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1200℃雙溫區(qū)管式爐 |
供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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*大功率 |
3KW |
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加熱溫區(qū) |
雙溫區(qū) 200mm+200mm |
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工作溫度 |
≤1200℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條 |
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爐管材質(zhì) |
高純石英 |
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爐管尺寸 |
φ80mm I.D x 1400mm L |
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密封方式 |
不銹鋼真空法蘭 |
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真空測量 |
電阻規(guī) |
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工作氣體 |
氫氣、氮氣、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體 |
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真空泵 |
雙極旋片式真空泵 |
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極限真空度 |
10^-1Pa |
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三路質(zhì)量流量計 |
閥門類型 |
不銹鋼針閥 |
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氣路數(shù)量 |
三路 |
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承壓范圍 |
0.05~0.3MPa |
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量程 |
1~100 SCCM（Ar） 1~200 SCCM（H2） 1~500 SCCM (CH4) |
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流量控制范圍 |
±1.5% |
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混氣罐容積 |
750mL |
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氣路材料 |
304不銹鋼 |
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管道接口 |
6.35mm卡套接頭 |
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供電電源 |
AC220V 50Hz |
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S射頻電源 |
輸出功率 |
500W |
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輸出精度 |
±1% |
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射頻頻率 |
13.56MHz |
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射頻穩(wěn)定度 |
±0.005% |
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冷卻方式 |
風冷 |
