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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:快速退火爐

  • 產(chǎn)品型號:CY-RTP1000-Φ150-400-T
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
RTP快速退火爐的主要特點有:可在真空/不同氣氛/空氣不同環(huán)境下,對樣品進(jìn)行快速熱處理;控溫精度高;適合高等院?;蜓芯繖C(jī)構(gòu)科研使用;主動式水循環(huán)冷卻模式;立式設(shè)計;儀器采用觸摸屏技術(shù):操作方便,裝取樣片簡單高效;價格合理,高性價比。
詳情介紹:

本品是一款快速退火爐,采用鹵素?zé)艄芗訜幔捎糜诳焖贌嵬嘶?、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴(kuò)散、化合物半導(dǎo)體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點分析、薄膜沉積、等等。

設(shè)備主要由石英真空室、真空泵機(jī)組、水冷機(jī)組、控制系統(tǒng)組成??刂葡到y(tǒng)采用智能溫控表控制,觸控屏操作。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)平臺。爐膛采用左右滑動的方式,與樣品的距離靈活可調(diào)。

設(shè)備配有國產(chǎn)雙極旋片泵,具有體積小,噪音小,無油污污染等優(yōu)點。


RTP快速退火爐技術(shù)參數(shù):


型號

CY-RTP1000-Φ150-400-T

爐管規(guī)格

內(nèi)徑120mm,加熱溫區(qū)400mm,總長度550mm

材質(zhì):高純石英

升溫速率

0-100/s

降溫速率

200℃以上≤25min

加熱元件

鹵素?zé)?/span>

真空接口

KF16

進(jìn)氣接口

寶塔頭 搭配外徑8mm導(dǎo)氣軟管使用

法蘭規(guī)格

φ120不銹鋼真空法水冷法蘭

水冷接口:φ8mm快插接頭

真空系統(tǒng)

雙極旋片泵 抽速1.1L/s

極限真空度: 10-1Pa

溫控系統(tǒng)

智能溫控表控溫

帶有超溫保護(hù)

測溫:K型熱電偶

水冷機(jī)

水箱容量9L,*大揚程10m

進(jìn)氣接口

φ8寶塔頭

電源要求

220V 50Hz,18kW

外形尺寸

1200mm x 610mm x 570mm


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號