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本品是一款快速退火爐,采用鹵素?zé)艄芗訜幔捎糜诳焖贌嵬嘶?、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴(kuò)散、化合物半導(dǎo)體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點分析、薄膜沉積、等等。
設(shè)備主要由石英真空室、真空泵機(jī)組、水冷機(jī)組、控制系統(tǒng)組成??刂葡到y(tǒng)采用智能溫控表控制,觸控屏操作。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)平臺。爐膛采用左右滑動的方式,與樣品的距離靈活可調(diào)。
設(shè)備配有國產(chǎn)雙極旋片泵,具有體積小,噪音小,無油污污染等優(yōu)點。
RTP快速退火爐技術(shù)參數(shù):
型號 |
CY-RTP1000-Φ150-400-T |
爐管規(guī)格 |
內(nèi)徑120mm,加熱溫區(qū)400mm,總長度550mm 材質(zhì):高純石英 |
升溫速率 |
0-100℃/s |
降溫速率 |
200℃以上≤25min |
加熱元件 |
鹵素?zé)?/span> |
真空接口 |
KF16 |
進(jìn)氣接口 |
寶塔頭 搭配外徑8mm導(dǎo)氣軟管使用 |
法蘭規(guī)格 |
φ120不銹鋼真空法水冷法蘭 水冷接口:φ8mm快插接頭 |
真空系統(tǒng) |
雙極旋片泵 抽速1.1L/s 極限真空度: 10-1Pa |
溫控系統(tǒng) |
智能溫控表控溫 帶有超溫保護(hù) 測溫:K型熱電偶 |
水冷機(jī) |
水箱容量9L,*大揚程10m |
進(jìn)氣接口 |
φ8寶塔頭 |
電源要求 |
220V 50Hz,18kW |
外形尺寸 |
1200mm x 610mm x 570mm |