旋轉(zhuǎn)勻膠機(jī)應(yīng)用

日期：2024-12-23 03:36

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摘要：

旋轉(zhuǎn)勻膠機(jī)應(yīng)用
　　旋轉(zhuǎn)勻膠機(jī)是一種用于工程與技術(shù)科學(xué)基礎(chǔ)學(xué)科領(lǐng)域的計(jì)量?jī)x器，于2014年12月12日啟用。

技術(shù)指標(biāo)

　　旋轉(zhuǎn)勻膠機(jī)可以自動(dòng)定量滴加光刻膠（支持的光刻膠年度在10cp-500cp）,也可以實(shí)驗(yàn)手動(dòng)滴加光刻膠；勻膠的時(shí)間可以在0.1s到999s范圍內(nèi)調(diào)整且連續(xù)；滿足旋涂3mm到150mm直徑范圍的樣品；穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速范圍可在50轉(zhuǎn)/分到8000轉(zhuǎn)/分，加速范圍從50rpm/s到4000rpm/s;膜厚的均勻性在2%（Resist AZ5214E，1um）。

主要功能

　　旋轉(zhuǎn)勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，需要旋涂的基片和的旋涂膠液間的粘滯系數(shù)不同，厚度也會(huì)有所不同，同時(shí)旋涂的時(shí)間和轉(zhuǎn)速也會(huì)對(duì)厚度有不同的影響。

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